Surface roughness in XeF2 etching of a-Si/c-Si(100)

机译：XeF2蚀刻a-Si / c-Si（100）的表面粗糙度

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Stevens, AAE Alquin; Beijerinck, HCW Herman;
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年度 2005
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机译：错误：“A-Si / C-Si（100）的XEF蚀刻表面粗糙度J. VAC。 SCI。技术。 A 23,126（2005）“

Surface roughness in XeF2 etching of a-Si/c-Si(100)

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